項(xiàng)目概述：

    使用上下料臺(tái)、超聲波清洗裝置、噴淋沖洗裝置、純水供應(yīng)裝置、清洗劑供應(yīng)裝置、腐蝕槽、密閉腐蝕倉、加熱裝置、供液站、廢液收集裝置、排風(fēng)裝置、廢氣處理裝置、機(jī)械手、控制柜、工控機(jī)、控制軟件等設(shè)備，實(shí)現(xiàn)腐蝕前清洗、芯軸腐蝕、腐蝕后清洗三個(gè)功能。

關(guān)鍵指標(biāo)：

    腐蝕器具采用的材料可耐濃度≥30%硝酸溶液，且溫度在20℃~40℃時(shí)不變

    腐蝕倉具有恒溫功能，溫度20℃~40℃可調(diào)，控制精度±5℃

    超聲波功率密度0~1W/cm2，連續(xù)可調(diào)

    噴淋流量≥ml/min

    搬運(yùn)機(jī)構(gòu)重復(fù)定位精度≤±0.1m

    全部工藝參數(shù)均可在控制軟件中設(shè)定，全部工藝流程均可在控制軟件中編輯

    供液系統(tǒng)的液體(硝酸、純水、廢液、清洗劑)流量>200ml/min，控制精度≤士2%

    純水系統(tǒng)供水流量>200ml/min，定量供水精度<士1.2%